WORKS INTRODUCTION
実績紹介

半導体・ディスプレイ製造装置 Semiconductor and display manufacturing equipment

シリコンウェハ洗浄機

Silicon wafer cleaning machine

業界種別
半導体製造装置 Semiconductor Manufacturing Equipment
要求仕様
6槽式全自動洗浄乾燥 6-tank fully automatic cleaning and drying system
装置サイズ
L6820×D2400×H1950 (mm) L6820×D2400×H1950 (mm)
備考
当社オリジナル Original design by YAMATO Corp.